8月8日,国产步进光刻机领军企业上海芯上微装(英文简称:AMIES)举办了第500台步进光刻机交付仪式。此次发运的第500台步进光刻机将交付给盛合晶微半导体(江阴)有限公司。
芯上微装成立于2025年2月,是从国内光刻机龙头企业上海微电子拆分出来的独立公司,法定代表人是其董事长何飞,注册资本为5843.8446万元,专注于泛半导体方向高端设备的开发,产品应用于IC前道、先进封装、化合物半导体、平板显示等领域。
其股东包括上海芯上威企业管理合伙企业(持股24.49%)、上海泰力产业(持股16.33%)、上海张江高科的全资子公司张江浩成(持股14.20%)等,未见上海微电子直接持股。其中,泰力产业、张江浩成也是上海微电子的股东,分别持股8.12%、10.78%。上海微电子的创始人之一贺荣明同时担任芯上微装的董事。
今年3月-5月,芯上微装曾携先进封装光刻机、激光退火设备、晶圆键合/对准设备等最新产品参展多个半导体产业博览会。
先进封装光刻机是芯上微装的拳头产品,具备高分辨率、高套刻精度、超大曝光视场等显著特点,具有强大的翘曲和厚胶处理能力,可根据客户的具体工艺需求灵活配置设备。该类产品能够满足Flip-chip、Fan-in、Fan-out WLP/PLP、2.5D/3D等先进封装技术的要求,目前全球市占率达到35%,国内市占率达到90%。
拿到芯上微装第500台光刻机的盛合晶微,是全球领先的集成电路晶圆级先进封测企业,致力于支持各类高性能芯片,尤其是GPU、CPU、AI芯片等,通过超越摩尔定律的异构集成方式,实现高算力、高带宽、低功耗等的全面性能提升,近几年更是着力发展先进的3DIC加工和集成技术。
7月22日,芯上微装发明专利“一种半导体生产设备的对准系统及方法、半导体生产设备”(专利号:ZL202510233590.0)获得了国家知识产权局颁发的专利证书。
该专利于2025年2月27日申请,是芯上微装成立以后首件提出申请并获得授权的国家发明专利,应用于芯上微装“大尺寸IC基板封装光刻机”系列产品,能够针对大尺寸基板封装的应用场景显著提高对准效率和整机产率,有效提升产品市场竞争力。
芯上微装计划持续深耕先进封装、IC前道、第三代半导体等领域,不断提升产品品质与服务效能,建设成为国内领先、具有国际竞争力的半导体高端装备企业。
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