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标题: 国产第三代半导体光刻机批量交付 [查看完整版帖子] [打印本页]

时间: 2026-8-11 10:04

作者: PH值 标题: 国产第三代半导体光刻机批量交付

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8月10日消息，国产光刻设备赛道传来重磅利好突破。上海芯上微装科技股份有限公司正式对外宣布，近日公司自主研发的350nm步进投影光刻机（AST6200），已经顺利通过国内化合物半导体领域头部客户的全流程工艺验证，并且拿到了批量重复采购订单，正式从研发落地阶段走向商业化批量交付。

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时间: 2026-8-11 10:08

作者: szlanjack

时间: 2026-8-11 16:15

作者: coffee198375

腻害了。。。。

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