深圳稳顶聚芯：首台高精度步进式光刻机顺利出厂！

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9月23日消息，近日，深圳稳顶聚芯技术有限公司（以下简称“稳顶聚芯”）宣布，该公司研发的首台国产高精度Stepper（步进式）光刻机顺利出厂。

根据稳顶聚芯官方视频号披露的产品资料显示，这款步进式光刻机属于其WS180i系列，主要应用于mini/micro LED光电器件、光芯片、功率器件等化合物半导体领域，能够满足硅片、蓝宝石、SiC等衬底的不同胶厚光刻工艺需求。从具体的参数来看，WS180i系列覆盖了2-8英寸晶圆，分辨率覆盖了1.5μm-0.35μm。

除了步进式光刻机之外，稳顶聚芯还拥有套刻及关键尺寸光学量测设备（量测精度10nm）、超精密光学成像质量评价系统、高性能主动减震系统、晶圆寻边器、晶圆机械手、薄膜测量系统（膜厚测量精范围10nm-100μm）。

根据工商资料显示，稳顶聚芯是一家成立于2023年5月，注册地是深圳南山区，注册资本119.21306万元，经营范围包括：仪器仪表制造；实验分析仪器制造；电力电子元器件制造；超导材料制造；机械电气设备制造；电气设备销售；仪器仪表销售；电子元器件零售；机械零件、零部件销售；电子产品销售。技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广。截至2024年底，参保人数为37人。

相关招聘平台的资料显示，稳顶聚芯是一家集半导体核心装备研发、制造和销售于一体的高科技公司。公司产品聚焦于半导体工艺制程装备开发与制造，广泛应用于功率器件、光电器件、MEMS、微波射频等半导体及泛半导体制造领域。公司在深圳拥有 2000 多平米的研发及生产厂房，包括干级装配调测洁净间、百级和十级实验室洁净间。

在核心团队方面，85%以上具有国内外知名大学研究生学历，且均为来自国内半导体行业顶尖科研院所及全球 500强企业，具有丰富的行业技术积累、卓越的正向研发能力、创新型的高端装备制造水准和独创的企业运营管理理念，引领全球自动化与智能化高端装备研制的新潮流。

稳顶聚芯称，公司核心团队研发的集成电路工艺设备已通过知名集成电路制造商认证，获得了客户的高度好评。

值得注意的是，在2025年2月20日，稳顶聚芯在 “科创宝安・创投荟” 上就发布了其光刻机整机研发成果，称公司产品聚焦于成熟工艺制程的半导体前道光刻工艺制造，拥有 2000 多平方米的研发及生产厂房和一支高素质的研发团队，同时发布了1亿元的融资需求。

据介绍，目前稳顶聚芯具备年产 20 台光刻机整机的产能，2025 年预计营收 1.4 亿元，实现净利润 4480 万元。

编辑：芯智讯-浪客剑