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标题: 展锐为什么要强吹6nm EUV工艺？不尬吗？ [查看完整版帖子] [打印本页]

时间: 2021-4-25 15:11

作者: 史诗级龙套 标题: 展锐为什么要强吹6nm EUV工艺？不尬吗？

原标题：引入EUV技术的6nm，才是真正的6nm！

展锐唐古拉品牌下的两款5G芯片T770和T760，均采用6nm EUV工艺，为什么要强调EUV？

“只有引入EUV技术的6nm才是真正的6nm”，这项技术也将伴随未来可能的5nm、4nm、3nm、2nm、1nm一路前行。

自1965年英特尔创始人之一的戈登·摩尔提出摩尔定律以来，半导体领域就一直在遵循着“当价格不变时，集成电路上可容纳的元器件的数目,大约每隔18个~24个月便会增加一倍，性能也将提升一倍”的规律前行。技术人员一直在研究开发新的IC制造技术，以缩小线宽、增大芯片的容量。

EUV光刻机的出现，就是一个重大突破。它实现了高速、低功耗和高集成的芯片生产工艺，满足了5G高性能、超带宽、低时延和海量连接的需求。

图片来源：台积电陈平在紫光展锐2020春季线上发布会演讲

这么厉害的EUV，原理是什么？

光刻技术基本上是一个投影系统，将光线投射并穿透印有电路的光罩，利用光学原理将图形打在已涂布感光剂的硅晶片上，进行曝光，当未曝光的部分被蚀刻移除后，图样就会显露出来。

在光刻技术中，提升分辨率的途径主要有三个：一是增加光学系统数值孔径；二是减小曝光光源波长；三是优化系统。EUV相较于DUV，把193nm波长的短波紫外线替换成了13.5nm的“极紫外线”，在光刻精密图案方面自然更具优势，能够减少工艺步骤，提升良率。

EUV技术的究竟难在哪儿？

光源产生难:

193nm紫外线的光子能量为6.4eV（电子伏特，能量单位），EUV的光子能量高达为91~93eV！这种能量的光子用一般的方法是射不出来的，激光器或灯泡都不行，它的生成方法光是听起来就非常变态，这需要将锡熔化成液态，然后一滴一滴地滴落，在滴落过程中用激光轰击锡珠，让其化为等离子态，才能释放“极紫外光”。这样的光源用久了就会在里面溅很多锡微粒，必须要定时清洁才行。

图片来源：Cymer: Extreme Ultraviolet(EUV) Lithography Light Sources

发光过程难:

EUV不仅能量高，对物质的影响也极其强大，它们可以被几乎任何原子吸收，所以传播路径必须是完全的真空。要想让EUV聚焦到合适的形状，只能用这种用6面凹面镜子组成的系统——EUV/X射线变焦系统（EUV /X-Ray focusing systems）。

有效功率转化率低:

可是就算是镜子，每一面镜子都会吸收30%的EUV，整个系统里有4个镜子用于发光系统，6个镜子用于聚焦系统。EUV光罩本身也是一个额外的镜子，形成了11次反射。这个过程中，只有大约2％的EUV来到了晶圆上。因为效率低，所以需要的功率也大辐上涨。ArF光源平均的功率为45W，而EUV的平均光源功率为500w！

成本太高：

最先进的EUV光刻机售价高达1亿欧元一台，是DUV光刻机价格2倍多，采购以后还需要多台747飞机才能运输整套系统。

此外，EUV光刻机必须在超洁净环境中才能运行，一小点灰尘落到光罩上就会带来严重的良品率问题，并对材料技术、流程控制、缺陷检验等环节都提出了更高的要求。最关键的是，EUV光刻机还极度耗电，它需要消耗电力把整个环境都抽成真空(避免灰尘)，通过更高的功率也弥补自身能源转换效率低下的问题，设备运行后每小时就需要耗费至少150度的电力。

除此之外，次级电子对光刻胶的曝光、光化学反应释放气体、EUV对光罩的侵蚀等种种难题都要一一解决。这就导致很长时间里EUV的产量极低，在之前公开的资料里，EUV的产量只有日均1500片。

展锐唐古拉T770和T760

结合以上的知识点，采用了6nm EUV工艺技术的展锐唐古拉T770和T760，真是闪耀着高技术、高质量的光辉~

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时间: 2021-4-25 15:15

作者: 史诗级龙套

骁龙875、苹果A14、麒麟9000、三星Exnos 1080，这么多5nm EUV工艺党，强吹6nm不尴尬吗？

时间: 2021-4-25 15:53

作者: 客家人

展锐国内没戏，除了做老年机，做了没人要。

时间: 2021-4-25 15:56

作者: 华为中兴最强

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时间: 2021-4-25 15:57

作者: 华为中兴最强

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时间: 2021-4-25 17:45

作者: 云中云

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时间: 2021-4-25 18:07

作者: 客家人

云中云发表于 2021-4-25 17:45
还是专心黑菊厂吧，黑展锐你就错了，会被群殴。

不是黑，基于事实，展锐芯片只见海信一款用了，还卖的一塌糊涂，其他ovm没见用

时间: 2021-4-25 18:08

作者: 客家人

华为中兴最强发表于 2021-4-25 15:56
荣耀已经开始合作了，新闻有，你这么确定？

我没注意到新闻，如果能合作，对于展锐是好事

时间: 2021-4-25 18:28

作者: sqlwth

难道展锐还要考虑别人的感受吗？那个“爱国”企业这么爱国，怎么宁要台湾联发科的芯片，也不支持紫光展锐一下呢

时间: 2021-4-26 11:16

作者: 没事来看看

华为中兴最强发表于 2021-4-25 15:56
荣耀已经开始合作了，新闻有，你这么确定？

荣耀的低端机，已经开始采用展锐的方案了

时间: 2021-4-26 11:17

作者: 没事来看看

客家人发表于 2021-4-25 18:07
不是黑，基于事实，展锐芯片只见海信一款用了，还卖的一塌糊涂，其他ovm没见用

在国内公开市场上，的确用的不多，但在海外用的很多。比如传音诺基亚都在用，三星也有部分在采用。

时间: 2021-4-26 11:49

作者: zhangjijian

客家人发表于 2021-04-25 18:07:46 不是黑，基于事实，展锐芯片只见海信一款用了，还卖的一塌糊涂，其他ovm没见用

联通999的5Gcpe官网经常卖断货。

时间: 2021-4-26 12:04

作者: HIT_RJ

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时间: 2021-4-26 13:26

作者: 客家人

zhangjijian 发表于 2021-4-26 11:49
联通999的5Gcpe官网经常卖断货。

这个没怎么了解，我只知道展锐芯片国内只有一款海信手机，卖的惨不忍睹。

时间: 2021-4-26 13:37

作者: 云中云

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时间: 2021-4-26 13:52

作者: sqlwth

HIT_RJ 发表于 2021-4-26 12:04
同样是华为黑，差别咋这么大呢，客家人算高级黑，你算低级黑，级别不一样，在丑国那里拿到的钱差别很大， ...

国内的企业除了251我都支持，不管是百度还是展锐，因为他们还是企业，还没有变成法外之地。至于拿钱，咱俩谁靠发帖子拿钱谁断子绝孙，你敢不敢跟？不敢跟就断子绝孙。

时间: 2021-4-26 14:11

作者: 客家人

云中云发表于 2021-4-26 13:37
不需要你了解，展锐现在火的一塌糊涂。

你个外仔黑，滚的越远越好。

哪里火？国内主流手机没一款用的？国外不了解

时间: 2021-4-26 14:15

作者: 云中云

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时间: 2021-4-26 14:17

作者: 云中云

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时间: 2021-4-26 14:43

作者: 客家人

云中云发表于 2021-4-26 14:17
荣耀中兴海信都用了。

我只知道海信一款用了，卖的一塌糊涂

时间: 2021-4-26 15:12

作者: 云中云

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时间: 2021-4-26 15:17

作者: CTUSER

sqlwth 发表于 2021-4-26 13:52
国内的企业除了251我都支持，不管是百度还是展锐，因为他们还是企业，还没有变成法外之地。至于拿钱，咱俩 ...

同

真在考虑moto 用了展讯芯片那款G20手机

时间: 2021-4-26 15:21

作者: 云中云

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时间: 2021-4-26 15:23

作者: CTUSER

云中云发表于 2021-4-26 15:21
支持一把展讯又如何，其实大多数差异，完全感受不到。而且性价比早就price in了。

非要鸡贼完美主义拿 ...

必然的，只要不是菊花的货，国产性价比好会买的。
菊花的东西贵贱不考虑。
就这么个原则。

时间: 2021-4-26 15:24

作者: ch_steven

国内企业有进步都值得高兴。但文宣受不了，“真是闪耀着高技术、高质量的光辉”也可以听一听，“这项技术也将伴随未来可能的5nm、4nm、3nm、2nm、1nm一路前行。”，估计到3还可以，2、1没有新路子整得下来吗？

时间: 2021-4-26 19:25

作者: Vortex

土鳖没见过世面，有点好的就大吹特吹，常事

时间: 2021-4-27 09:54

作者: xtreme_x

史诗级龙套发表于 2021-4-25 15:15
骁龙875、苹果A14、麒麟9000、三星Exnos 1080，这么多5nm EUV工艺党，强吹6nm不尴尬吗？

三星 5lpe不如tsmc N6

时间: 2021-4-27 10:01

作者: 华为中兴最强

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时间: 2021-4-27 10:47

作者: yeweimian

能不能被美帝牵着鼻子不能采购？！。。。。。。。。否者吹个鸡毛

时间: 2021-4-27 11:19

作者: qkb_75@163.com

吹牛逼罢了！
让国家觉得，投入给它的那么多那么多那么多的钱，没亏本！

时间: 2021-4-27 11:21

作者: 华为中兴最强

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时间: 2021-4-27 16:51

作者: 穿裤衩的狗

几nm不是关键，能不能稳定量产才是，现在小闺密7nm国内不是不能做，但有意义么？

时间: 2021-4-27 20:34

作者: Richbunny

客家人发表于 2021-4-26 14:43
我只知道海信一款用了，卖的一塌糊涂

还有电信天翼一号

时间: 2021-4-28 09:06

作者: beenlove

国内不是吹，十年都造不出5nm的产品。。不信拭目以待。。

时间: 2021-4-28 09:24

作者: guojian6

小天才应该用了不少，功耗应该是4g最低的了，不跑安卓。

时间: 2021-4-28 09:51

作者: 华为中兴最强

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时间: 2021-4-28 09:58

作者: 设计院新丁

我记得网上新闻，是华为出来的团队接手……

时间: 2021-4-28 17:14

作者: xuqz

饭要一口一口地吃

时间: 2021-4-28 18:41

作者: 家园会员

华为中兴最强发表于 2021-4-28 09:51
得了吧，中芯国际要是美国没限设备，今年本来都要进7了，梁孟松来中芯一年就做到14纳米量产。台积电也是因 ...

现在就是说的限制了后十年内出5nm没戏了。。。

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