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标题: 中国光刻机刻蚀机的进展  [查看完整版帖子] [打印本页]

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时间:  2022-12-17 22:27

作者: sq58622     标题: 中国光刻机刻蚀机的进展

国产光刻机能否拯救中国半导体行业？


对于国产光刻机，作者看了许多回答尽是故弄玄虚，什么利益相关，上下游相关的，也有科研系统的，各种云里雾里，我先说一下，我们的光刻机不需要任何保密，请问一下落后技术数代的技术要保什么密？如果米国知道我们193nmArF光刻机搞出来了，他们会出什么幺蛾子吗？

我很正式的告诉各位，米国知道了也不会有任何反应，他们还是一如既往的封杀，我们做出来貨做不出来，对米国来说不影响他们的步调，而且咱们真做出来了，需要去fab试生产，需要在fab跟所有米国设备一起生产芯片，这一切都逃不过米国。

光刻机不是核弹，只是有或者无的区别。光刻机做出来得先从试验机经过一代一代的改良变成量产机，这些步骤不可能秘密进行，因为都是需要与产线相结合的试生产，才能调适与改进，没有可能忽然宣布我们有一台量产没毛病的光刻机，这是不可能的事，最多就是宣布我们的试验机已经做出来或者通过验收。但大家得明白宣布样机成功与量产还有好几年的路要走。不是宣布了就有设备能用在产线上。

所以只要在行业内，这些讯息都是对米国单向透明的，在网上谈保密简直就是天大的玩笑，咱们也得明白，我们国产光刻机里面的零配件大部分都得进口。重申一下，绝大部份零配件都是进口，这些零配件同样以美日为主。

国产光刻机，落后数代的技术没有保密的需要，米国想要知道会比咱们网上讨论的更精细一百倍，所以更没有保密的必要。

在10/7新规之后的此时此刻，smic、ymtc、北方华创，中微正开放自己的工厂以及数据，让美bis检查有没有违规，smee也一样，用以自证清白，希望能从 uvl 、实体清单中剔除自己或者避免自己变成实体清单，基本上都是查个底朝天，而网民们竟然在网路上谈保密？在这种说法在业内眼中，简直不可思议，难道我们的舆论对这些行业常识，或者针对美商务的基本认知是零吗？

我希望此回答能端正视听，那些玄乎的云里雾里到，添油加醋的，盲目乐观的，从其他上下游相关自己臆测的，能尽量减少，我们需要正确的专业与正常的舆论。

几年前smee那台号称90nm的ssx600通过02专项验收合格，然后这一大帮人欢欣鼓舞媒体大书特书，紧接着这群人立马订定下一个更先进的目标，甚至一次跨越两代，直接攻关193nmArF准分子激光浸润式光刻机，02专项风风火火大跃进攻关，形势一片大好。

然而事实是那台ssx600，也就是248nmKrF光刻机（工艺是在0.13um以上）风风火火的把所有utility接上，除了认证那会开机跑了起来，至始至终躺在那，怎认证通过到咱们就不说了，你没跑产线，没有上下道的工艺配合，最后芯片合格率、良率到底行不行，全部都没有，这样就验收了？敢情你们是能开机就可以验收是吗？

当初在国科验收的NA0.75级镜头，某科院自己订一些指标，造本宣科走个流程就验收了，长光所上光所的院士们，难道你们擅长的就是立项与验收？你们会关心这玩意能在量产线上使用不？你知道这玩意能达到量产化指标吗？还是你们没有这能力？你们只会搞实验装置？又或者你们想说时间不够，先达成初步指标后面在慢慢优化？然而你们有去优化吗？

这通过验收的所谓光刻机根本无法在量产线上跑，也从来没有跑过！而你们现在正大跃进式的想功克下兩代193nm ArFi 也就是媒体所谓的28nm光刻机，这不是天大的笑话吗？130nm都没正儿八经的跑过产线，130nm你都做不明白，竟然妄想去搞28nm？其实193nm ArFi搞出来是能做到7nm的。

全球任何一家的前端半导体设备都是经过无数顶尖工程师，长时间不断的累积经验，不断的改善问题，不断的优化才达到今天的地步，你们这样就验收，完全不需要积累生产经验，然后攻关下一个技术？你们以为这跟你们以前搞的实验装备是一回事是吗？

即便世界最牛的asml数千台设备在全世界各fab跑了好几年，他们至今还是有大量工程师在不断优化这些前几代的光刻机，这些设备通过与无数客户工程师，出现问题解决问题，每年软件的代码都不断的大量增加。

再说一遍，设备真正在生产线跑，是全世界无数顶尖工程师，数十年不断优化来的，而我们一台设备验收了，就再也没人管。

至于193nmArF准分子激光浸润式光刻机，也就是smee宣称能用在28nm的SSX800，也别说2022年底能不能出样机，现在也都12月了，我就问问，华卓的twinscan emc兼容解决了吗？国望的NA1.35镜头八字有一撇没？生产的洁净车间现在都还没盖好呢！科益的40w 4kHz ArF的光源intensity解决没？啥时候能达到60w 6kHz能用的标准？

这些问题有没有长光所或上述单位的人来说说。别在以什么企业秘密来说搪塞，这些完全是国际落后技术，更不涉及米BIS的限制（差好几代），跟秘密能扯上边吗？以前都是还不能量产就先放消息各种突破，锣鼓喧天，怎现在反倒变成公司秘密不能说了？难道美bis没有去你们公司调查吗？你们没有拿出一切证据来证明自己没违规吗？既然你们都敞开了让美国商务部调查，怎转过身来跟民众说这是秘密呢？所谓企业秘密难道只是你们的遮羞布？

除了光刻机，其他关键设备的国产化如何？


etch蚀刻设备、沉积与光刻并列门槛最高、金额最高、难度最大的的三个种类，一般来说蚀刻设备都是fab投资最大的，工艺在5nm以下的fab，因为都是使用euv，光刻才超越了蚀刻。

而且蚀刻在memory占有越来越重要的角色，尤其是在nand，越高层数就需要宽深比越高的蚀刻技术，这完全得仰赖设备厂家。目前做到最好的是lam能在100:1以上，amat也有同性能产品，国内的中微号称今年能有40:：1的高宽深比的设备，但这设备我可以肯定出来是能出来，但没法用。

ccp只是刻掩膜跟metal，与icp那些刻在si上的完全是两码事，也就是说即便中微什么成功打入台积电7nm的fab也只是做最简单的那一部分。

而我们从图中可以看出，dry etch门槛最高的各种icp，中微一台也没有，几乎被lam给垄断，amat跟tel这世界etch的老二跟老三也只有稀稀拉拉几台，而中微连他的强项ccp也只是占1/3，而且还都是ccp里面最容易的那部分。

我想我的文字解释结合图的清单，大家应该能明白一二了吧。

我想全网都没有像我这样比较的信息，都是中微已成功打入台积电5nm云云。而这些讯息却是断章取义与实际大相径庭，lam的icp难度并不比asml的euv难度低多少，lam在icp的垄断地位，连发展了几十年的行业老大amat与老二tel也无法在icp上与lam争锋，中微真的就别提了。

越先进的制程，etch的制程步骤越多，而且呈等比级数上升，28nm刻40次，14nm刻60多次，7nm得到140次，5nm已经到惊人的250次，大家能想像在几nm线宽的制程，重复一两百次的刻，能达到每一次准确无误的精度，这是难以想像的。

至于这到底有多难，非业内甚至许多业内人士都不知道，我如何形容一样会有人说只要拿出当初两弹一星的气魄跟做法就能突破，所以多难我也懒得形容，但不论多难作者认为最终是会突破，时间的问题而已，但我最乐观的推估是2年推出达到28nm性能的icp样机，但良率要达到量产水平，还得在两三代的优化改良，每一代1～2年，要知道一开始刻出来的肯定参差不齐，良率达不到你有设备也等于没有。

以此推算能打通drt etch全部环节，能生产出合格良率的28nm芯片，最快最快是6年。

这里面还有一个最大的问题是，良率达不到那个厂家让你一直试，而没有一直试也没办法改进，即便郭嘉也没办法解决这事，这是一个死胡同。咱们没有国外厂家那般几十年的技术积累就是得一直試，没有一直跑片一直发现问题优化改良，怎可能突破，设备得真正在产线上跑良率合格才叫能用的设备，不然就是一堆废铁。

6年以作者的认知我是认为不太可能达成，但就当他可能吧，6年后我们才能拥有28nm全打通的国产蚀刻设备，与网路上铺天盖地的蚀刻我们已能做到5nm是不是有如云泥之别，但事实就是如此。

而28nm的浸沒式光刻机，作者以一切都是最顺利来评估，6年一样是最快的时间，也就是说以目前倾全国之力，一切顺利的情况下，我们将在6年后也就是2030年“有机会”用全国产设备生产28nm的芯片。

试问2030年全世界都生產14am了，我們還在生產28nm要這玩意有多大作用？真实的情况跟大家想的或者主管行业那帮人说的根本不一样。

2030年量子计算或许都开始最基本的商用了，而我们才刚刚生产有能力落后的硅基芯片，大费周章终于能生产，马上面临被淘汰的局面？

我说这么多，全部是不涉及行业秘密的公开消息，只是行业内的基本常识而已，作者认为现在如此危机之时，中国半导体行业不能再这样下去，首先必须要把问题全部掀开来，尽管满目疮痍，疮疤都没怕疼而没勇气去揭，那如何治疗？

从14年大基金成立以来，我们一直高喊的国产，取代外企，解决卡脖子问题，快十年了，真正解决的卡脖子问题有几个？行业里整天好消息满天飞，飞了快十年了，市场一片期待，所有人信心满满，连小将们都高喊你米国越制裁越好，我们只会更快造出来，我们不需要任何协助，自己的全国产设备很快就能横空出世。

而今这些设备在哪呢？真实的情况是，此时此刻，我们芯片生产线的国产化率只有可怜的15%左右，今时今日。


想在五六年完全补齐剩下的85%，从任何角度来看都是不切实际，违反科学及常识的。

现在我们的芯片产业已经退无可退，当务之急，就是在量产的fab里，所有设备back to back的调适，真正调适出一条完整实实在在的《量产线》，不是以前那种实验线，更不是一堆设备商各自为政，上下道工艺根本接不上，各说各话的吹牛皮。

再此之前不论smic，ymtc或者ㄧ众国产设备厂家，都是以生产然后销售为首要，毕竟企业要生存，这次既然被米国逼到墙角，一点余地都不留給我们，那咱们也不用在客气，由ymtc來打先锋，ymtc二厂既然美国设备全断供。预付款也退了，现在就把二厂拿来试验国产设备，由郭嘉出面兜底，全力攻关国产设备，把调适出一条全国产设备的真正量产线为第一要务。

所有国产设备商全部派驻工程师到ymtc的fab，把能做的不能做的老老实实说出来，真刀真枪全部在一个fab里搞，谁吹牛皮谁拖后腿，不能再给忽悠的空间。我一直认为国产设备的最大问题还是厂家的报喜不报忧，为了补贴搞形式玩文字游戏。如果任由他们这样搞下去，一百年也搞不出啥来。

这一次ymtc的新厂是一个天赐良机，首先缺位的美国设备全部由国产来替补，再来就是真刀真枪的检验这几年来，到底谁在骗补到底谁有突破，这一次将一目了然。想混水摸鱼的一个也跑不掉，老鼠屎得先清干净。因为想成功，一个都不能少一个都不能拉垮，能再量产线上试国产设备，才是真正的重点，郭嘉对此得进行不计代价的支持，让他们可以一直去生产坏片、一直试错、一直改良。

smee光刻机这样的事情绝不允许再发生，现在已是危及存亡之刻，必须所有设备商全部集中到一个fab，所有工序一道接一道来跑，直到芯片出来，28nm沒能力，咱们就搞90nm，在不行也没事0.13或者0.18μm都没问题，就是搞一条实实在在的全国产芯片生产线，哪里有问题就攻克哪里，找出所有大大小小的问题，一步一步来，这是需要时间需要经验的，不可能一步登天，如果这都能行，那真是当全世界半导体行业的顶级人才都是傻子还是咱们的工程师个个具备刚出生就能飞的能力。

每每说到这些人，作者就很难控制的出现情绪，想到这帮人真的来气，其实我很清楚，国内没有几个设备厂家敢这么搞，ymtc应该是没问题愿意出fab出人来弄，但那么多家设备商，大概率一大半不愿意，因为这样搞就露馅了大部分不愿意，这话我放在这。

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时间:  2022-12-18 09:10

作者: 伤心小镇

按西方标准是6年，但实际可能只要3年就可以了，再扣掉已经用掉的时间

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时间:  2022-12-18 09:44

作者: wusiwusi

有钱有市场就能做出来？

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时间:  2022-12-18 09:53

作者: 小小小小小小

外行对此文混淆群体概念是看出来，中美经贸博弈并不是只有中美更多是中～美欧日韩澳台之联合，鹅与乌也非单对单。。。说到科技较量上重点是逐步去美化而非得全国产化这个可以是非西方第三世界共享发展成果（就是优先一带一路）

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时间:  2022-12-18 10:02

作者: 伤心小镇

wusiwusi 发表于 2022-12-18 09:44
有钱有市场就能做出来？

只要美国断供主动撤离市场就行，中国是不可能封闭自己的大门的。

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时间:  2022-12-18 10:12

作者: 小小小小小小

伤心小镇 发表于 2022-12-18 10:02
只要美国断供主动撤离市场就行，中国是不可能封闭自己的大门的。

我们不主动去全球化是正确的，它们要撤随便。这样做更多只是我们少点高档消费品而已，内循环+一带一路让生活更火热少换点即将像草纸的绿票子

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时间:  2022-12-18 10:29

作者: undebug25

wusiwusi 发表于 2022-12-18 09:44
有钱有市场就能做出来？

只要想做，早晚可以做出来，十年不行就20年，不做，永远都做不出来。

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时间:  2022-12-18 10:32

作者: master123

那些靠国家拨款搞研究的事业单位，没几个靠谱

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时间:  2022-12-18 10:48

作者: 小小小小小小

master123 发表于 2022-12-18 10:32
那些靠国家拨款搞研究的事业单位，没几个靠谱

不拔款搞得出来？这东西相当于特种设备需要大量投入资源而且销路不甚明确，做出来没市场接手就是纯投入没回报你私人会搞？不像主粮食很重要但是产多了可以做米粉等副食或者喂猪来吃肉都不会浪费

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时间:  2022-12-18 10:54

作者: cnqq9999

慢慢等待

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时间:  2022-12-18 11:05

作者: h68810115

试问2030年全世界都生產14am了，我們還在生產28nm要這玩意有多大作用？真实的情况跟大家想的或者主管行业那帮人说的根本不一样。

2030年量子计算或许都开始最基本的商用了，而我们才刚刚生产有能力落后的硅基芯片，大费周章终于能生产，马上面临被淘汰的局面？

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不知所云

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时间:  2022-12-18 11:22

作者: master123

小小小小小小 发表于 2022-12-18 10:48
不拔款搞得出来？这东西相当于特种设备需要大量投入资源而且销路不甚明确，做出来没市场接手就是纯投入没 ...

管理机制导致这种事业单位的效率太低，投入大部分打了水漂。
本来打算走贸工技的联想，最后放弃了“技”。应该与代管计算所的那段经历有关吧。
看看目前发展还不错的中国ICT行业，有多少成果来自于科研事业单位？

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时间:  2022-12-18 11:30

作者: tek2

undebug25 发表于 2022-12-18 10:29
只要想做，早晚可以做出来，十年不行就20年，不做，永远都做不出来。

没错，两弹一星怎么来的？苏联人撤走专家不也是我们自己搞出来的么？

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时间:  2022-12-18 11:34

作者: axuan

和精密沾边的 咱们都够呛 社会浮躁导致没什么人静下来精益求精 倒是些大件 公差要求不高 砸人砸材料 能搞个七七八八 加上人多市场有 多少能搞点钱 但推动不了根本的科技进步 玩的比较low

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时间:  2022-12-18 11:35

作者: wusiwusi

tek2 发表于 2022-12-18 11:30:39 没错，两弹一星怎么来的？苏联人撤走专家不也是我们自己搞出来的么？

就喜欢你这种yy的，你们这两家不都没自己主导的半导体技术吗。举国之力不是万能药

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时间:  2022-12-18 11:38

作者: 大头you

tek2 发表于 2022-12-18 11:30
没错，两弹一星怎么来的？苏联人撤走专家不也是我们自己搞出来的么？

当时能造出两弹一星，但是造不出最先进的两弹一星。现在能造出光刻机，但是造不出最先进的光刻机。
你是想表达这个？

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时间:  2022-12-18 11:56

作者: 小小小小小小

master123 发表于 2022-12-18 11:22
管理机制导致这种事业单位的效率太低，投入大部分打了水漂。
本来打算走贸工技的联想，最后放弃了“技” ...

你们就直接说拔款不行，不拔款也不行的事嘛，绕来绕去就是不行呗。姜文12年前的电影就说明了你们是谁富帮谁的那群人或者精神上依附于那群人才能活，谁有理都不管着只管谁有奶才是主

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时间:  2022-12-18 12:10

作者: master123

小小小小小小 发表于 2022-12-18 11:56
你们就直接说拔款不行，不拔款也不行的事嘛，绕来绕去就是不行呗。姜文12年前的电影就说明了你们是谁富帮 ...

不要只看到“拨款”，关键是“事业单位”。
如果是HBAT式的单位来主持这样的工作，效果会好很多。

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时间:  2022-12-18 13:18

作者: huijian91

往后几年内循环是重点

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时间:  2022-12-18 13:24

作者: axuan

不打破地方保护主义 内循环是伪命题 只会越来越差

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时间:  2022-12-18 14:28

作者: 云中云

提示: 作者被禁止或删除 内容自动屏蔽

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时间:  2022-12-18 14:38

作者: 飞蚂蚁

提示: 作者被禁止或删除 内容自动屏蔽

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时间:  2022-12-18 16:51

作者: fob2

axuan 发表于 2022-12-18 11:34
和精密沾边的 咱们都够呛 社会浮躁导致没什么人静下来精益求精 倒是些大件 公差要求不高 砸人砸材料 能搞个 ...

搞的跟一个算命先生一样似的，啥都知道。他们是真瞎，你也是？

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时间:  2022-12-18 17:43

作者: axuan

我自然是心明眼亮的 你明白了么

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时间:  2022-12-18 22:30

作者: youyouran

伤心小镇 发表于 2022-12-18 09:10
按西方标准是6年，但实际可能只要3年就可以了，再扣掉已经用掉的时间

10,9,8,7……这样么？

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时间:  2022-12-18 22:31

作者: youyouran

master123 发表于 2022-12-18 12:10
不要只看到“拨款”，关键是“事业单位”。
如果是HBAT式的单位来主持这样的工作，效果会好很多。

可以多出好多论文呢。

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时间:  2022-12-18 22:46

作者: 伤心小镇

youyouran 发表于 2022-12-18 22:30
10,9,8,7……这样么？

连看看衰中国的人都认为能搞定，哪有不成功的道理？

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时间:  2022-12-19 00:02

作者: axuan

也别什么光刻机了 把无尘室 把滤纸整出来 什么玩意儿 天天瞎78喊口号

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时间:  2022-12-19 10:11

作者: ljming8888

改换思维才行，一条路走到黑不行啊

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时间:  2022-12-19 11:48

作者: Desla的马甲

飞蚂蚁 发表于 2022-12-18 14:38
只要还是技术要听领导的，就没指望。以前也不是没封闭过，自己吹嘘自己嗨得很，没用。

能做成事的人，说不出这样幼稚的话。任何事情都不是绝对对错，是讲究平衡。越大的事情越要综合权衡利弊。
没有绝对的技术听领导或者领导听技术。越复杂的事，技术的决定的比例可能越低。不知你能否看懂，但我相信做过系统设计的或成功的高管是能看懂的。

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时间:  2022-12-19 11:53

作者: fob2

axuan 发表于 2022-12-19 00:02
也别什么光刻机了 把无尘室 把滤纸整出来 什么玩意儿 天天瞎78喊口号

就知道天天瞎78嚷嚷的

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时间:  2022-12-19 17:32

作者: magicrazy

我说个与本题目无关的个人观点吧：不管是在日常生活中还是网上逛论坛这些，我感觉我们国家人才非常多，也很愿意为某一行业发展贡献自己热情和能量的，就比如本论坛里的一些大神，虽然有些人情绪有些偏激。国家如果能把这些人的聪明才智以及热情利用起来，我想我们每一个行业都会有一个突飞猛进的发展，赶超欧美也指日可待，所以我们国家应该提高技术人员待遇，在住房、工资福利以及社会认可度方面都提供更好的保障，不要再搞土地财政了，科学技术是第一生产力这句话一点没错，留给我们可以挥霍的时间已经不多了。

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时间:  2022-12-19 17:56

作者: magicrazy

master123 发表于 2022-12-18 11:22
管理机制导致这种事业单位的效率太低，投入大部分打了水漂。
本来打算走贸工技的联想，最后放弃了“技” ...

拨款是必须的，但是搞研发的机构及里面的人员究竟有没有把心思放在研发上这就得打个问号了。工作上的奖惩机制历来都是一门简单又复杂的学问，个中缘由一两句话说不清楚。要想真正搞那绝对是可以搞好的，就是得治治某些摸鱼的人还有一些有其他企图的人，跟这帮人彻底撕破脸。

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时间:  2022-12-19 18:05

作者: james23

提示: 作者被禁止或删除 内容自动屏蔽

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时间:  2022-12-19 18:06

作者: james23

提示: 作者被禁止或删除 内容自动屏蔽

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时间:  2022-12-19 18:34

作者: 大头you

magicrazy 发表于 2022-12-19 17:32
我说个与本题目无关的个人观点吧：不管是在日常生活中还是网上逛论坛这些，我感觉我们国家人才非常多，也很 ...

与其想想应该怎么做，不如想想为什么没有这样做。

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时间:  2022-12-19 19:35

作者: coffee198375

飞蚂蚁 发表于 2022-12-18 14:38
只要还是技术要听领导的，就没指望。以前也不是没封闭过，自己吹嘘自己嗨得很，没用。

米帝就因为听领导的才有今天。。。。

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时间:  2022-12-20 18:50

作者: 伤心小镇

james23 发表于 2022-12-19 18:05
就看你的键盘了，天天看你键盘沸腾，*

屁股歪的人看屁股正的人都是歪的

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时间:  2022-12-21 15:19

作者: huaweizhongxing

axuan 发表于 2022-12-18 13:24
不打破地方保护主义 内循环是伪命题 只会越来越差

印度知道啥叫光刻机吗，见都没见过吧，呵呵，说别人前看看自己差距不是一般大

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时间:  2022-12-21 15:21

作者: huaweizhongxing

axuan 发表于 2022-12-19 00:02
也别什么光刻机了 把无尘室 把滤纸整出来 什么玩意儿 天天瞎78喊口号

亚翔集成做什么的 你这个印度不知道吧 你们印度连一座8寸芯片厂都没有 而且还得靠外资投资，中国光是中芯国际一家芯片厂都10座了吧，外资投资沃都不算进去

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时间:  2022-12-21 15:22

作者: huaweizhongxing

大头you 发表于 2022-12-19 18:34
与其想想应该怎么做，不如想想为什么没有这样做。

说别人前想想自己差距多大，人家光刻机，你们还在苹果代工厂，芯片都没有

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时间:  2022-12-21 21:53

作者: 大头you

huaweizhongxing 发表于 2022-12-21 15:22
说别人前想想自己差距多大，人家光刻机，你们还在苹果代工厂，芯片都没有

稀客稀客，欢迎。

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时间:  2022-12-21 22:24

作者: huaweizhongxing

大头you 发表于 2022-12-21 21:53
稀客稀客，欢迎。

什么都没有，也敢和中国这种美国极为重视的工业大国来比较？

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时间:  2022-12-21 22:30

作者: 大头you

huaweizhongxing 发表于 2022-12-21 22:24
什么都没有，也敢和中国这种美国极为重视的工业大国来比较？

你这病情还没缓解啊！

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时间:  2022-12-26 09:56

作者: magicrazy

大头you 发表于 2022-12-19 18:34
与其想想应该怎么做，不如想想为什么没有这样做。

成年人的世界，与常理有悖的无外乎因为两个字：利益。

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时间:  2022-12-30 09:07

作者: wtwtwt1

youyouran 发表于 2022-12-18 22:31
可以多出好多论文呢。

中国的论文99%是垃圾

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时间:  2022-12-30 09:07

作者: wtwtwt1

用来评职称的

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时间:  2022-12-30 10:20

作者: 坂田小夫妻

光刻机和刻蚀机，是不是没有区分清楚？

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