三星、海力士开始替代中国设备与零部件供应商

CTUSER

据韩国《电子新闻》（ETNews）援引业内消息报道，三星电子与 SK 海力士正评估中资企业Mattson Technology设备的替代方案，重点针对两类设备：一类是用于去除光刻胶残留的光刻胶（PR）剥离系统，另一类是用于半导体晶圆加热的快速热处理（RTP）系统。
  
Mattson最初是美国本土半导体设备企业，2016 年被亦庄国投收购。尽管Mattson尚未被美国商务部列入实体清单，但报道称其未来仍存在被纳入的风险。因此两大巨头已开始与国内外光刻胶剥离设备、快速热处理系统供应商展开洽谈，寻找替代供货渠道。
  
此次供应链调整并非孤例，台积电也采取了同类举措。
  
据《日经新闻》援引消息人士表述，台积电已在其 2 纳米生产线中全面排除国产设备。
  
此前台积电先进制程中使用的国产设备，包括中微公司（AMEC）的刻蚀设备，以及Mattson供应的相关设备。
  
这场供应链重构的覆盖范围正从半导体设备向零部件领域延伸。
  
据称，三星电子与 SK 海力士已向合作供应商提出要求：在可行的前提下，避免向中国半导体厂商供应同款产品。