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6月1日消息,据韩媒报道,SK 海力士位于韩国忠清北道清州科技城的产业园区突发火灾,截至周一清晨,事故已造成 7 人受伤!
据韩国消防部门及 SK 海力士方面初步通报,事发地点为清州 4 园区的半导体生产辅助设施——气体室。该区域主要用于存放芯片制造过程中所需的各种特种气体,其中就包括具有强腐蚀性和剧毒性的氟化氢。氟化氢在半导体工艺中常用于晶圆蚀刻和清洗,但一旦泄漏,会对人体呼吸道、皮肤及眼睛造成严重伤害,高浓度暴露甚至可能危及生命。
园区启动喷淋装置后,火势得到控制,但现场泄漏了有毒气体氟化氢,浓度达 5ppm,该浓度超出韩国雇佣劳动部规定的 3ppm 职业接触限值。
截至发稿时,事故已造成 6 名现场人员受伤。伤者已被立即送往公司内部的医务室及附近医院接受治疗。消防部门表示,已派出穿着防护服的队员进入现场,对事故的具体原因和损坏情况进行深入调查。消防官员补充说,受伤人数仍有可能进一步增加。
目前,韩国消防、警方以及 SK 海力士方面正在对事故原因展开联合调查。这家芯片工厂是全球主要的半导体生产基地之一,在 DRAM 和 NAND 闪存供应链中占据重要地位,此次事故是否会对其后续生产运营造成影响,备受市场关注。
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