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发表于 2020-4-9 11:23:09 |只看该作者 |倒序浏览
本帖最后由 汤汤的汤面 于 2020-4-9 11:23 编辑

据国外媒体报道,半导体行业光刻系统供应商ASML(阿斯麦)去年交付了26台极紫外光刻机(EUV),调查公司Omdia表示,其中约一半面向大客户台积电。ASML此前公布,2019年,共向客户交付了26台极紫外光刻机。其中,在第四季度交付了8台。 ASML还透露,去年交付的26台极紫外光刻机中,有9台是最新型号,即NXE:3400C。

英国调查公司Omdia推测称,ASML去年交付的26台极紫外光刻机,大约一半面向台积电。

台积电2019年正式启动7nm产品的量产,这只能通过波长极短的EUV进行操作。资料显示,EUV光源波长比目前深紫外线微影的光源波长短少约15 倍,因此能达到持续将线宽尺寸缩小的目的。

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