ASML公布财报,来自China的营收增加3倍,按地区来分,China占ASML从8%变成24%,DUV出货数量大幅增加。EUV 出货从54%,下降成37%,来自China的业绩大幅增长,原因很明显,都在提前把DUV 拉进来。
从下面转的内容、以及美国对中芯国际限制是10nm这两点来看,
国产搞出28nm/16nm/12nm的可能性还是有的
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一般认为28nm以下的工艺就已经是先进工艺了。而真正拉开不同公司的差距的是7nm。当台积电,三星争相进军3nm之时,昔日霸主intel仍然在10nm挣扎,第二大纯fab格罗方德早早放弃了7nm的研发,中芯国际仍在追赶,不过目前只是刚刚突破了12nm工艺。真正突破了7nm并继续前进的,目前仅有台积电和三星两家。 7nm是一个非常关键的节点,它是DUV光刻机所能达到的极限。从7nm开始,EUV光刻机将成为必须。没有EUV光刻机,将无法再进行下一代工艺的研发。 台积电的初代的7nm工艺,就完全由DUV光刻机实现。相对于台积电的上一代主要工艺节点16nm,7nm可以提供3.3倍的电路密度。相同功耗,可以提供35·40%的性能提升。如果基于相同的性能做比较,功耗可降低65%,非常可观。后来,台积电基于初代7nm工艺,在生产步骤上进行了优化,推出了一个改进版本。叫做7nm性能增强版(7nm Performance-enhanced version,n7p), 性能有所提升,约7%。 在引入EUV光刻机之后,首次应用在7nm的一些步骤的改进上。一些在DUV光刻机下需要多次曝光才能够完成的图形,由于EUV的引入,可以一次完成。这样做的好处就是能够减少多次曝光所引入的不可控的畸变,从而提升芯片的一致性和良率。引入EUV的7nm,被命名为N7plus。根据台积电方面的数据,n7plus和初代n7工艺相比,电路密度提升1.2倍,相同功耗情况下,性能可提升10%。相同性能下,功耗可降低15%。 这些就是DUV和EUV在7nm工艺的差异。
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