我国12寸晶圆产线整体国产化率

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据国际招标网中标数量统计，目前国内主要的4条12寸晶圆产线的整体国产化率不足15%。分设备类型来看，去胶设备的国产化水平最高，接近70%，CMP、刻蚀、清洗、热处理等工艺设备类别的国产化率均超20%，PVD 设备整体国产化率近15%，CVD、离子注入、量测、光刻、涂胶显影、镀铜等设备的国产化率均不足5%。（中银证券）