集成微透镜阵列的CMOS传感器分析

讯技人

在最近的几十年里，COMS 传感器的像
素尺寸由最初大于 10um 以发展至 2um，甚
至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空
间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素
上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，
我们研究了像素大小等于或小于 2um CMOS
传感器的性能。
并在仿真分析中采用严格的
FMM / RCWA 以检测微透镜的有效性。