[非通信资料] ssuprem4_核芯工艺仿真 [复制链接]

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发表于 2012-8-30 09:12:39 |只看该作者 |倒序浏览

SSuprem4是一个高级的二维工艺仿真器，广泛地应用于半导体业的多种设计、分析和优化。SSuprem4运用广泛的物理模型，精确模拟现代技术中的扩散、离子注入、氧化、蚀刻、淀积、硅化、外延生长以及应力成型等主要工艺步骤。在ATHENA系统中,SSuprem4完全集成于Optolith、Elite、MCImplant分别用于光刻仿真、物理蚀刻与淀积以及高级蒙特卡罗离子注入。
高级半导体工艺仿真解决方案

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